Proizvodnja silikonskih pločica

Proces proizvodnje silicijske ploče

Pružamo visoko{0}}kvalitetne silicijske pločice koje podržavaju industriju poluvodiča na vrhuncu. Kao materijal za silikonske pločice koriste se sirovine najviše kvalitete. Vaferi se proizvode pod najstrožom kontrolom kvalitete kako bi se stvorili proizvodi koji zadovoljavaju potrebe kupaca na sve načine.

Izrađeno od najfinijih sirovina, za kvalitetu na koju se može računati

Monokristalni ingot

Silicijske pločice koje isporučujemo izrađene su od ingota monokristalnog silicija visoke-čistoće, proizvedenih pomoću procesa rasta kristala Czochralski (CZ). Ingoti promjera do 300 mm proizvode se prema strogim standardima kontrole kvalitete.

Ako kupci zahtijevaju, također koristimo metodu Magnetic Czochralski (MCZ), koja uključuje primjenu snažnog magnetskog polja na rastaljeni silicij, ili metodu Float-Zone (FZ), gdje se monokristalni ingoti uzgajaju na niskim razinama kisika bez upotrebe kvarcnog lončića.

Monokristalni ingot reže se na kriške debljine približno 1 mm, s površinama poliranim do zrcalnog izgleda. Kao rezultat toga, oblatne su nevjerojatno ravne i čiste. SUMCO također može ugraditi mogućnosti dobivanja u pločicu, što pomaže uhvatiti nečistoće od teških metala koje bi inače mogle degradirati električna svojstva.

Polirana pločica podvrgava se žarenju na visokoj temperaturi u atmosferi vodika ili argona, čime se uklanja kisik u blizini površine pločice. Dobivena pločica ima poboljšanu savršenost kristala.

Za vrhunsku kvalitetu

Površinski sloj polirane pločice formira se od monokristalnog silicija rastom u parnoj fazi ili epitaksijom.

Prvo, kupčev dizajn koristi se za stvaranje sloja za ugradnju integriranih sklopova na površini pločice, korištenjem tehnika kao što su fotolitografija, ionska implantacija i toplinska difuzija. Zatim se na vrhu ovog sloja formira epitaksijalni sloj.

Oksidni sloj s izvrsnim svojstvima električne izolacije nalazi se između dvije polirane pločice, koje se zatim međusobno spajaju. Ovaj postupak spajanja omogućuje stvaranje uređaja s visokom integracijom, niskom potrošnjom energije, velikom brzinom i iznimnom pouzdanošću. Dodatno, difuzijski sloj arsena (As) ili antimona (Sb) može se formirati u aktivnom sloju na površini ploče.

Na zahtjev kupca, korištene vafle se mogu vratiti i reciklirati za ponovnu upotrebu.

Vrste i specifikacije vafla